- Bonden
- Bọnden,Kontaktieren, Mikroschweißen, Halbleitertechnologie: das Anbringen der elektrischen Anschlusskontakte auf oder an (miniaturisierten) Halbleiterbauelementen (z. B. Dioden, Transistoren, integrierten Schaltungen) oder der elektrischen Verbindungen zwischen den einzelnen Schaltkreisen in Hybridschaltungen oder zwischen verschieden integrierten Schaltungen beziehungsweise Chips. Die Anschlussdrähte (Durchmesser 20-200 μm) können nach verschiedenen Verfahren angeschweißt oder angelötet werden. Beim Thermokompressionsbonden wird ein Golddraht mit einem speziellen Schweißwerkzeug auf die Anschlussstelle an dem auf etwa 300 ºC aufgeheizten Halbleitersubstrat gedrückt, sodass durch plastische Verformung an der Schweißstelle eine atomare Bindung entsteht. Beim Ultraschallbonden wird ein etwa 20 μm dicker Aluminiumdraht unter Ultraschalleinwirkung (Vibration) auf die Kontaktstelle gepresst. Durch die von den Ultraschallschwingungen hervorgerufene Reibung werden auf den Oberflächen vorhandene Oxidschichten abgetragen und das Substrat wird lokal erwärmt. Durch den Verzicht auf äußere Wärmezufuhr wird eine Zerstörung der temperaturempfindlichen Halbleiterbauelemente vermieden. - Wegen der kleinen Dimensionen sind die in der Mikroelektronik eingesetzten Schweißgeräte mit Beobachtungsmikroskopen und Mikromanipulatoren zur exakten Werkstückpositionierung ausgestattet. Heute erfolgt Bonden meist automatisch und rechnergesteuert.Hier finden Sie in Überblicksartikeln weiterführende Informationen:
Universal-Lexikon. 2012.